電子廠廢氣處理的性能特點：
1、吸附效率高，能力強；
2、備構(gòu)造緊湊，占地面積小，維護(hù)管理簡單；
3、采用自動化控制運轉(zhuǎn)設(shè)計，操作簡易、安全；
4、全密閉型，室內(nèi)外皆可使用；
5、利用率高，無二次污染。
電子廠廢氣處理的方法：
（1）活性炭吸附法
吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達(dá)到凈化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣凈化處理。
活性炭凈化率高（活性炭吸附可達(dá)到95%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進(jìn)行危廢處理，運行費用高。
（2）等離子法
等離子法利用等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含較高化學(xué)活性的特點，使用高壓放電裝置在放電時產(chǎn)生高能電子和離子，將空氣中的氧分子進(jìn)行分離，氧分子吸收能量后產(chǎn)生游離態(tài)的氧離子，有機廢氣污染物與游離氧基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。
此種方法具有適用范圍廣，凈化效率高，設(shè)備占地面積小特點，適用于其他方法較難處理的有機廢氣體；但由于采用高壓放電裝置，在含水、含塵、有機廢氣濃度較高的密閉空間易發(fā)生爆炸，存在安全隱患，因而限制了其使用。
（3）燃燒法
燃燒法只在揮發(fā)性有機物在高溫及空氣充足的條件下進(jìn)行燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。
